技术简介：一种用氧化钨层涂敷玻璃的方法，包括把含有卤氧化钨或氯化钨和氧源的气流引入到玻璃基底表面上。优选的是，所述氧源包含酯，特别是具有3－6个碳原子的酯。所述气流还含有氟源，以形成氟掺杂的氧化钨层。1．在玻璃基底表面沉积含有氧化钨的涂层的方法，包括把含有卤氧化钨或氯化钨和氧源的气流引入到玻璃基底表面上。