技术简介：本实用新型涉及一种非晶硅薄膜太阳能电池制作设备。由七个真空室、真空获得装置、气路和尾气处理组成，七个真空室为长方体形，线列式排列，气动闸板阀隔离，设有轨道小车及导轨，三个反应室及过渡室设电容耦合电极板；气路分９路进气，三个反应室各设３组与质量流量控制器ＭＦＣ连接；尾气处理通过三套增压泵、机械泵机组把有毒气体分流；真空获得是在反应室Ｉ及两侧过渡室接涡轮分子泵和离子泵，反应室Ｐ与进片室及反应室Ｎ与出片室间均接涡轮分子泵。它具有真空隔离、连续淀积效果。一种非晶硅薄膜太阳能电池制作装置，其特征在于：由七个真空室（１）、真空获得装置（２）、气路装置（３）和尾气处理装置（４）组成，所述七个真空室（１）为进片室（１１）、过渡室（１２）、反应室Ｐ、Ｉ、Ｎ（１３、１４、１５）和出片室（１６），均为长方体形，线列式排列安装，从右至左依次为：进片室（１１）、反应室Ｐ（１３）、过渡室（１２）、反应室Ｉ（１４）、过渡室（１２）、反应室Ｎ（１５）和出片室（１６），每两个真空室（１）之间采用长方形法兰连接，金属丝密封，并装有气氛隔离用超高真空气动闸板阀（１７），每一真空室（１）中安装有交递与传送衬底用由电机驱动的轨道小车（１８）及一对导轨（１９），各个真空室（１）间的导轨（１９）不连续，所述Ｐ反应室（１３）、Ｉ反应室（１４）、Ｎ反应室（１５）及过渡室（１２）内还装有上、下电极板（１０、１０′）； 所述真空获得装置（２）由涡轮分子泵（２１）、离子泵（２２）和机械泵（２３）组成，在所述反应室Ｉ（１４）和其两侧的过渡室（１２）通过插板阀（２４）接一涡轮分子泵（２１）和一离子泵（２２），所述反应室Ｐ（１３）与进片室（１１）及反应室Ｎ（１５）与出片室（１６）之