一种高频低损耗微晶玻璃材料的制造方法

技术简介:一种高频低损耗微晶玻璃介质材料的制造方法,属于微晶玻璃领域。本发明提供的系统为MgO-Al↓[2]O↓[3]-SiO↓[2]-TiO↓[2]-CeO↓[2]系统。具体组成范围(重量比)为:SiO↓[2](28-35),TiO↓[2](18-27),Al↓[2]O↓[3](18-25),MgO(5-10),CeO↓[2](13-19)。玻璃熔制温度为1480-1500℃,保温3小时,退火温度为700℃,保温1小时。第一段晶化温度为860±10℃,第二段晶化温度为1170-1240℃。经上述工艺制得的微晶玻璃,在1GHz以上频率,介电常数大于9小于15,介电损耗在6×10↑[-4]以下。是一类实用的高频低损耗微晶玻璃介质材料。一种高频低损耗微晶玻璃材料的制造方法,属于添加CeO↓[2]的SiO↓[2]-MgO-Al↓[2]O↓[3]-TiO↓[2]系统。其特征在于: (1)各组分的重量百分含量是: SiO↓[2] MgO Al↓[2]O↓[3] TiO↓[2] CeO↓[2] 28-35 5-10 18-25 18-27 13-19 (2)玻璃熔制温度温度为1480~1500℃,保温3小时,退火温度为700℃,保温1小时。 (3)二阶段晶化,第一段晶化温度为860±10℃,第二段晶化温度为1170-1240℃。保温时间分别为1.5小时和5小时。第二段晶化温度变化影响材料的介电性能。 (4)微晶玻璃依次由金红石相、α-堇青石相以及硅钛铈矿相三种主要晶相构成。 (5)调节TiO↓[2]/SiO↓[2]的比例,TiO↓[2]含量提高,金红石相增加;TiO↓[2]/SiO↓[2]比例逐渐增加同时CeO↓[2]含量也逐步增加,出现硅钛铈矿和α-堇青石。

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