技术简介：即使是以往的抑制二次光子吸收过程的石英玻璃，在用它构成装置时，存在不能获得充分的成像性能和生产率低的问题。本发明提供一种使溶解的氢分子浓度在５×１０↑［１８］（分子／ｃｍ↑［３］）以下，用受激准分子激光照射时实际上没有作为一次光子吸收和二次光子吸收的前驱体缺陷的石英玻璃部件。一种石英玻璃部件，用于把受激准分子激光作为光源的光学系统中，其特征在于， 溶解的氢分子浓度在５×１０↑［１８］（分子／ｃｍ↑［２］）以下，用受激准分子激光照射时实际上没有作为一次光子吸收和二次光子吸收的前驱体的缺陷。