技术简介：控制高沸点硅化合物向合成炉的导入量，其方法是将压送气体送入液体原料泵１０；将沸点高的有机硅化合物的原料液３２通过液体流量计２０供给气化器１２。此原料液３２送往气化器１２的导入量由液体流量计２０控制。在气化器１２中，将雾化了的原料液３２同输送气体相混合，再以高过有机硅化合物沸点１０℃以上的高温加热，由此生成原料气体，再将其导入合炉１４。合成石英玻璃制造方法，其特征是将由硅化合物组成的原料液导入气化器，再将前述气化器中前述原料液气化后的原料气体导入合成炉，此时，用液体流量计将前述原料液向前述气化器的导入量进行控制。