技术简介：本发明的聚酰亚胺内涂胶及其制备方法，涉及一种聚酰亚胺薄膜，该内涂胶中包括有机溶剂（８５—９５）、芳香族四酸二酐（５．０—１０）、芳香族二胺混合物（１．０—６．０）、以及有机硅分子量调节剂和增粘剂（０．０１—２．０）。本发明的聚酰胺酸内涂胶为均匀透明的液体，储存稳定性好，可涂覆在单晶硅、ＳiＯ2、Ａl或Ｎi等金属的表面，经加热固化后制成微电子器件的缓冲内涂膜、芯片保护钝化膜或多层金属互联结构的层间绝缘膜等。1．一种聚酰胺酸内涂胶，其特征在于所述的聚酰胺酸内涂胶包括如下组份和含量（重量百分数）：组份 含量1 有机溶剂 85－952 芳香族四酸二酐 5．0－103 芳香族二胺（1） 0．5－3．04 芳香族二胺（2） 0．5－3．05 有机硅分子量 0．01－2．0调节剂和增粘剂