具有两个溅镀用阴极的、用于对平的基片进行镀膜的设备

技术简介:一种用于对平的基片(3)连续进行镀膜的设备,具有两个主要是平面磁控管型的溅镀用阴极(4、5),这两个阴极并排地设在一个共同的、真空镀膜室(6)内,其靶子(7、8)固定在一个与基片(3)的运输平面(9)平行的平面上并由相同的材料构成。该设备还为每个阴极(4、5)设置一个气体喷入装置(10、11),分别有一种确定的循环气体通过这两个喷入装置被送入配属的靶子(7、8)的范围内。用于对平的基片(3),为平的荧光屏玻璃板连续进行镀膜的设备,具有两个主要是平面磁控管型的溅镀用阴极(4、5),这两个阴极并排地设在一个共用的、真空镀膜室(6)内,其靶子(7、8)固定在一个与基片(3)的运输平面(9)平行的平面上,且这两个阴极由相同的材料构成,该设备还为每个阴极(4、5)设置一个气体喷入装置(10、11),循环气体可分别通过这两个喷入装置被送入配属的靶子(7、8)的范围内,其中,循环气体一者是由一种通常为氧气的活性气体构成,再者是由一种通常为氩气的惰性气体构成。该设备还具有设在气体输送管道内的阀门,这些阀门可控制由气体容器到气体喷入装置(10、11)的给气量,其特征在于,紧靠靶子(7、8)之下的腔室或区域(12、13)是分别被槽形的遮挡板(14、15)包封的,其中遮挡板(14、15)分别在其构成底部(14′、15′)的部件中具有限定粒子流的开口(16、17),每个遮挡板(14、15)在其垂直于靶子平面延伸的侧壁(14″和15″)上具有一个空档(18、19)或一系列的孔,这些孔分别对准配属的气体喷入装置(10和11)的气流出口(25、25′…26、26′…)。

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