技术简介：用以下步骤现场制备用于半导体制造的高度纯化的ＨＣｌ：从液体ＨＣｌ储蓄器（１１）中抽出ＨＣｌ蒸气（１２）以及在低ｐＨ值的含水涤气器（１７）中洗涤经过滤的蒸气（１５）。一种在半导体设备制造工厂中为半导体制造操作提供含ＨＣｌ的超高纯试剂的现场辅助体系，该体系包括：一个连接到液体ＨＣｌ源并由它提供ＨＣｌ蒸气流的汽化源；所述的ＨＣｌ蒸气流被连接以通过离子纯化装置，它使含有高浓度盐酸的高纯水循环流与所述的ＨＣｌ蒸气流接触；以及一个连接的制备装置，它接收来自所述的纯化装置的所述ＨＣｌ蒸气流，并使所述的ＨＣｌ蒸气与含水液体合并，制得含有ＨＣｌ的超纯含水溶液；以及一个管系，它将所述的含水溶液送到半导体设备制造工厂的各使用点。