技术简介：一个用于半导体制造的使用现场精馏从工业纯原料得到超纯硝酸的系统和方法。以高于高沸点恒沸物的浓度提供用于精馏（Ｔ－３）的原料，使得在冷凝（Ｃ－１）过程中不产生稀释。用一个回流冷凝器，带有一个至少５％的清洗流以防止杂质聚集。在半导体制造设备现场进行该过程，这样产生的超纯化学物质直接通过超净管道送到半导体前端（Ｔ－５）的使用位置上。一个半导体元件制造设备中的现场子系统，用于向半导体制造操作提供超高纯的硝酸，包括： 一个浓度大于６８ｗｔ％的硝酸源； 一个回流精馏塔，包括： 在所说的塔的加热的底部从所说的源接受硝酸， 从所说的塔的上部提供硝酸冷凝物流， 从所说的塔上的所说的上部之下的在所说的塔上的清洗点提供一个清洗流，至少为所说的硝酸冷凝物流的体积的４％； 一个收集所说的硝酸冷凝物流的储存器； 一个管道输送装置，把所说的硝酸冷凝物从所说的储存器输送到所说的半导体器件制造设备的使用位置上。