技术简介：本发明涉及可以提高内面电极层的粘结度和反射率的薄膜太阳能电池,并提供了两种结构。$其中,第1种薄膜太阳能电池是在绝缘性基板上依次叠层透明电极层、薄膜半导体层、内面电极层的薄膜太阳能电池,其特征在于,内面电极层是由比构成薄膜半导体导之半导体折射率低的第1透明导电性金属化合物层、第2透明导电性金属化合物层和金属层构成的,同时第2透明导电性金属化合物层至少含有第1透明导电性金属化合物层的构成成分和金属层构成成分中的一种,第1透明导电性金属化合物层是金属氧化物,具体的是氧化铟锡、氧化锡、氧化锌中一种。或者薄膜半导体层使用化合物半导体时,其中第1透明导电性金属化合物层也可以使用硫化镉。$作为第2种薄膜太阳能电池是在绝缘性极板上依次叠层透明电极层、薄膜半导体层、内面电极层的薄膜太阳以电池,其特征在于,内面电极层是由含有银和氧和构成透明导电性金属氧化物的金属元素的中间薄层和银膜的叠层体,构成透明导电性金属氧化物的金属元素是锌。薄膜太阳能电池，是在绝缘性基板上依次叠层透明电极层、薄膜半导体层、内面电极层的薄膜太阳能电池，其特征在于，内面电极层是由比构成薄膜半导体层的半导体折射率低的第１透明导电性金属化合物层、第２透明导电性金属化合物层和金属层构成的，同时第２透明导电性金属化合物层至少含有第１透明导电性金属合物层的构成成分和金属层构成成分中的一种。