多功能真空镀膜装置

技术简介:一种多功能真空镀膜装置,包括真空室2和工件小车。真空室2上面装有与抽真设备连接的法兰1,后面有转动装置4、电极导入装置5和充气口6,前面设有密封门23。真空室2内侧壁上装有8—30个电弧蒸发源3。根据不同用途,工件小车构造有所区别。镀制塑料件的小车13和多离子弧镀制瓷砖及金属件的小车16均带有可以公转和自转的工件架14。镀制较长零件的工件小车20具有横向放置的长形的并可公转和自转的工件架22。本实用新型功能多,既可镀幕墙玻璃,又可镀制塑料件、陶瓷件和各种金属件。一种多功能真空镀膜装置,包括真空室、工件架小车,其特征在于真空室上面具有与真空装置连结的法兰;真空室的后侧具有将电源接入真空室的电极导入装置;真空室的后侧上方有一个转动装置和与该转动装置转动轴相连的曲拐;真空室后侧有一个充气口;电极导入装置具有一个低电压大电流的电源接头和一个连续可调的偏压直流电源;真空室的侧壁固定有电弧蒸发源。

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