气相合成金刚石的方法

技术简介:本发明是一种在直流等离子体喷射CVD设备中利用专利号为93109966.8的大喷口直径等离子炬以廉价的液化石油气作为碳源气相合成金刚石的方法。使用本发明在氩、氢等离子弧中直接吹入液化石油气,可以以每小时30—50微米的速度,生长出质量纯净的金刚石膜。一种气相合成金刚石的方法,其特征在于以液化石油气为碳源,以氩气和氢气为工作气体,在直流等离子体喷射CVD设备专利号为93109966.8的大喷口直径等离子炬上完成。

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