技术简介:本实用新型涉及一种立式玻璃移动溅射镀膜装置,它由高、低真空抽气机构、电子轰击器、加热器、溅射靶、牵引机构、壳体等组成。由于把加热器、溅射靶及牵引机构都装在一个壳体内,并在牵引机构上竖立放置两块玻璃,使两块玻璃可在设定的轨道上来回移动,故可同时镀出两片溅射镀膜玻璃。本实用新型结构简单合理,造价较为便宜,工艺操作难度低,适合于中小型企业使用。一种立式玻璃移动溅射镀膜装置,包括高、低真空抽气机构(1)、电子轰击器(2)、加热器(3)、溅射耙(4)、壳体(5),其特征在于:还有牵引机构(6),牵引机构(6)上可放两块玻璃(11),加热器(3)、溅射耙(4)与牵引机构(6)都装在一个壳体(5)内,溅射耙(4)装在两片玻璃(11)运行经过的轨道中间,加热器分别装于轨道的两边,与两片玻璃(11)的位置相对应。