技术简介:一种连续碳化硅纤维的制备方法及其装置,其主要特征是通过射频加热方式在超细钨丝上沉积SiC,再在SiC施以碳涂层;另外,本发明还对已有的射频加热装置进行了改进,其改进之处是在管状反应器的一端设置了通入口7,7′,在管状反应器中心与末端之间设置了尾气出口8。一种连续碳化硅纤维的制备方法,它由基体上沉积SiC,再在SiC纤维外表面施以碳涂层等步骤组成,其特征在于:(1)基体为超细钨丝; (2)将钨丝通过射频加热到1200-1450℃; (3)沉积SiC的反应气体原料为CH↓[3]SiCl↓[3]和CH↓[3]SiHCl↓[2],载流气体为高纯氢气,沉积SiC的温度为1220-1350℃。 (4)SiC纤维外表面碳涂层的C↓[2]H↓[2]流量为0.4-0.5l/min,稀释用H↓[2]流量为0.25-0.4l/min,涂层温度为1350-1450℃。