技术简介：一种钕铁硼制品的除锈方法及装置，在设有上极板、下极板、加热器和充气器的真空室中产生氢等离子体，除净钕铁硼制品表面的锈斑，而不影响制品的精度，除锈装置可由真空镀膜机改装而成。$本方案的积极效果是：氢等离子体除锈时间为５～２０分钟，合格率达到１００％。一种钕铁棚制品的除锈方法，包括退磁，超声波清洗，在设有上极板、下极板、加热器和充气器的真空室中实施等离子体除锈，充磁，其特征在于：经退磁和清洗后待除锈的钕铁硼制品置于接地的下极板５１上，抽真空至１０↑［－３］乇数量级，卤钨灯加热器５４对工件６加热至９０℃～２００℃，保持恒温；由充气器２充入氢气，氢气压力为７×１０↑［２］～１乇，流量为０．５～５．０ＳＣＣＭ；上极板３１接射频功率源，其功率为８０～２００Ｗ，功率密度为０．１２～０．３２Ｗ／ｃｍ↑［２］。