等离子镀膜装置

技术简介:一种冷阴极真空电弧型等离子镀膜装置,在冷阴极真空电弧产生的等离子区域内另有电热式金属蒸发源构成复式蒸发离化源。这样的复式蒸发离化源具有任何一单种蒸发源得不到的独特效果。是适用于塑料、玻璃、陶瓷、各种金属部件的多功能复合镀膜装置。一种冷阴极真空电弧型等离子镀膜装置,其特征为:在冷阴极真空电弧产生的等离子区域内另有电热式金属蒸发源。

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