技术简介：汽相淀积金则石的方法：$在热等离子体化学汽相淀积装置的阴阳极之间通入放电气的同时进行电弧放电；$通过向形成的等离子流中加入气态碳化物使气态碳化合物自由基化；以及$使所述的自由基化的等离子流碰撞待处理的基片，从而在所述基片上形成一层金刚石膜。一种汽相淀积金刚石的方法，该方法包括如下步骤： 在一热等高离子体化学汽相淀积装置的阴阳两极之间充入放电气体的同时进行电弧放电； 通过加入气态化合物，使气态碳化合物自由基化，生成一种等离子流；以及 使所述自由基化等离子流碰撞待处理的基片，从而在基片上形成一层金刚石膜。