技术简介:一种化学镀铜镀浴,包括一种可溶性铜盐、乙二胺四乙酸、二甲胺甲硼烷、亚硫基二乙酸和环氧乙烷与炔属乙二醇的表面活性剂反应产物.一种化学镀铜镀浴,主要包括具有下列组成的一种水溶液:(1)大约0.6~6.4克/立升的水溶性铜盐, (2)大约6~50克/立升的乙二胺四乙酸, (3)大约2.5~12.5克/立升的二甲胺甲硼烷, (4)大约2.5~50克/立升的亚硫基二乙酸, (5)大约2.5~1000克/立升的环氧乙烷和炔属乙二醇的表面活性剂反应产物,和 (6)用足量的NH↓[4]OH将PH值调节到大约8.0~11.5之间。