技术简介：本发明公开了一种薄膜太阳能电池及其制备方法。该薄膜太阳能电池依次由衬底、电极、p型铜铟硒层、n型硫化镉层、p型多晶硅层、n型多晶硅层和电极叠层构成。本发明薄膜太阳能电池的制备方法依下列步骤进行：(1)采用磁控溅射加真空硒化退火方法在衬底上制备p型铜铟硒(CIS)膜；(2)用真空蒸发方法在p型铜铟硒(CIS)膜上生长n型硫化镉(CdS)层形成铜铟硒/硫化镉(CIS/CdS)复合结构；(3)在铜铟硒/硫化镉(CIS/CdS)复合结构上采用PCVD工艺和金属诱导固相晶化方法制备p型多晶硅层、n型多晶硅层；(4)形成多晶硅-铜铟硒叠层复合结构的薄膜太阳能电池。1.一种薄膜太阳能电池，其特征是它依次由衬底(1)、电极(201)、p型铜铟硒层(3)、n型硫化镉层(4)、p型多晶硅层(6)、n型多晶硅层(7)和电极(202) 叠层构成。