技术简介：本发明提供一种用于太阳能电池的基片、具有以基片的太阳能电池及其生产工艺，其中基片包括具有金属表面的基础和在金属表面上形成的氧化锌膜，氧化锌膜的含水量为7.5×10-3mol/cm3或更少，优选为4.0×10-4mol/cm3或更多。由此串联电阻增加，防止产生分流，并且效率如Jsc和化学稳定性提高，因而，获得具有最佳总体特性的氧化锌膜的太阳能电池。1.一种用于太阳能电池的基片，其中包括具有金属表面的基础和在金属表面上形成的氧化锌膜，氧化锌膜的含水量为7.5×10-3mol/cm3或更少。