技术简介：一种完全通过溅射包括高效率背接触/反射多层的制造改进的薄膜太阳能电池的方法，该背接触/反射多层包含由过渡金属氮化物组成的至少一个阻挡层。使用双圆柱体旋转磁控管技术，从特别准备的电传导靶共溅射二硒化铜铟镓(Cu(InxGa1-X)Se2)吸收体层(X的范围从1至约0.1)。通过改变镓的含量，可以分级吸收体层的带隙。在硒化氢气体中，从金属合金靶反应溅射交替的吸收体层。RF 溅射用于沉积不包含镉的ZnS窗口层。反应溅射顶部透明电极ZnO 掺杂铝。描述了专用模块真空卷装溅射机器。该机器适于与双圆柱体旋转磁控管一体化，在单一途径中以制造改进的太阳能电池材料。1.一种制造太阳能电池的方法，包括： 提供衬底； 在所述衬底的表面沉积传导膜，其中所述传导膜包括多个传导材料的不连续层； 在所述传导膜上沉积至少一个p型半导体吸收体层，其中所述p 型半导体吸收体层包括基于二硒化铜铟(CIS)的合金材料； 在所述p型半导体吸收体层上沉积n型半导体层以形成p-n结；以及 在所述n型半导体层上沉积透明电传导顶部接触层。