全自控高精度晶体线切割机

技术简介:本发明涉及一种切割设备,特别是由计算机控制的高效率高精度的线切割机。本发明由机架、绕丝滚筒、Z轴工作台、Y轴工作台、张紧装置、摆动装置、夹具组成。绕丝滚筒由可调速的直流电机拖动其反正转,张紧装置由一对微型气缸弹性支撑切割线的张紧轮控制,摆动装置由一对上下可相对摆动的支撑导向轮控制。本发明主要用来切割硅片、石英玻璃、陶瓷、宝石、氧化镁、铌酸锂、钽酸锂、砷化镓、钛酸钇等硬脆性材料。1.全自控高精度晶体线切割机,由机架(1)、绕丝滚筒(2)、Z 轴工作台(3)、Y轴工作台(4)、张紧装置(5)、摆动装置(6)、夹具(7)组成,其特征在于:绕丝滚筒(2)由调速电机及三级齿轮副组成,微型气缸弹性支撑切割机的张紧轮,同时设有一对上下可相对摆动的支撑导向轮,该Z轴进给、Y轴进给、摆动装置及绕丝筒的布线装置均采用滚珠丝杠副,各部移动导轨也采用预加载荷滚动导轨,气动张紧部分采用了背压阀。

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