技术简介：本发明为一种电子工业用氧化锆窑具及制造方法，是以电熔氧化锆原料为基，加入氧化钙、氧化钇为稳定剂，经电弧炉煅烧，然后经球磨、振磨、干压或注浆成型，干燥后在1550℃－1650℃烧成为本发明产品，以所加的稳定剂不同有两种组成不同产品，用氧化钙为稳定剂时，ZrO290—95％,CaO3．5—4．5％；以氧化钇为稳定剂时，窑具的化学组成为ZrO288—93％，Y2O36—10％，此外，两种产品中各有TiO20．1—0．4％，Al2O30．4—1.2％，SiO20.4—1.2％，Fe2O3<0．2％。1、一种电子工业用氧化锆窑具，其特征在于所述产品以氧化钙为稳定剂时，窑具的化学组成为ZrO290-95％，TiO20．1-0．4％，Al2O30．4-1．2％，SiO20．4-1． 2％，CaO 3．5-4．5％，Fe2O3＜0．2％。